第141章 思路放开，想干就干
第141章思路放开，想干就干
1987年10月12日，101所芯能光刻机厂迎来了三名特别的客人。
左洋，顾仁达，丁邦开，三名在德州仪器芯片加工厂工作的湾岛人。
东升船业付了钱，他们三个人只需要在这里呆一个月。
赵国庆亲自接待了他们，还有何振华教授，卢怡榕总师，王丽嘉，刘成敏，吕金超，水泉祥几个芯能光科机厂的骨干。
小赵老师期待值很高，特别是听到左洋说德州仪器，已经攻克八百纳米制造工艺时。
“德州仪器用的是什么型号的光刻机？用的什么光源？”
左洋说：“用的是尼康NSR-120步进式扫描光刻机，光源还是用的高压汞灯的i线，ASML生产PA2000厂里也有两台，德州仪器去年还买了两台GCA公司的激光扫描光刻机，可以很轻松的实现800纳米制程！”
激光这个词让赵国庆很是敏感，他问道：“用的什么激光？”
丁邦开摇摇头说：“我们只是教你们使用PA2000光刻机的，其他的，抱歉！”
好吧，那就是钱没给够，一人加了两万美元，赶上他们好几个月的收入，自然畅所欲言了。
左洋说：“246纳米的紫光激光机，至于是什么样的激光器，就不知道了，反正用这台光刻机，我们掩膜版缝距可以缩小一倍。”
光电雷达总师卢怡榕总师对赵国庆说：“赵所长，他们的激光器应该是用的氟化氪准分子激光器，我们所现在就在研究，只不过目前的技术，发射的激光功率还不够！”
激光产生的条件，需要形成粒子数反转。那么当粒子数反转超过一定值后，就会形成振荡，产生激光。
当激光发射以后，上能级粒子数就消耗掉了，所以振荡就停止了，直到下一次粒子数累积后再反转。这也就是为什么普通激光器峰值功率不能提高的原因。
怎么提高激光的功率，他脑子里的方法可不止一种，调Q技术，锁模技术，光学参量放大技术。
本来想绕过氟化氪紫外激光，还有氟化氩深紫外线准分子激光，直接上x光光源的。
小赵老师发现自己想多了，全世界在光源这一块最强的美利坚，他们也没办法制造一台ASML深紫外光刻机，若是想要商用话，需要多方面的突破，紧紧依靠光源肯定解决不了。
而且x光光源需要的技术难度也不小，开发技术上更成熟的深紫外激光器，还是有必要的。
看来这些技术路线还是要走一遍。
赵国庆对卢怡榕说：“紫外线、深紫外线激光光源下一步将是101所重点项目，还要加入极紫外光项目的研究！”
卢怡榕笑了，能被101所升级到重点项目的，无论资金还是人员将受到极大的倾斜，不过？
卢怡榕问道：“赵所长，极紫外线激光是怎么分类的，我怎么没听说过？”
赵国庆说：“不一定是激光，波长13.5纳米的光源，仅次于x光的光源！”
“……”
小赵老师摇摇头，极紫外线光源技术保密程度极高，能查到的就是用二氧化碳激光机射击一个小小的锡球，辐射出13.5纳米的深紫外线，而且光线还是分散的，需要凹面镜来反射，怎么看都像是老美给出的技术陷阱。
肯定有别的办法……
湾岛人的职务都不高，好在都是一线的。
小赵老师试探来试探去，他们对制程这块确实没太多研究，每天的工作也是公式化的，不过有个好处是，可以带来规范的车间管理。
再问道芯片晶体管结构，小赵老师明悟了。
想了想也难怪，现在i线386纳米光源还没利用到极限，Intel目前量产的386处理器还用的1.5微米的制程，但386纳米光源的极限制程在600到800纳米之间。
主要芯片加工厂在制程上，最需要解决的是合适的半导体结构，多是在晶体管物理层面上探索，使之更加适用于光刻而保证良品率。
比如现在德州仪器所用的深沟槽，基底离子注入衬垫来解决800纳米制程带来的晶体管漏电问题，实际上也就是对本身的PN结构一种改良，并没有涉及到效应晶体管结构的革命，而FinFET鳍片式场效应晶体管才是突破。
而制程一直到65纳米之后，光刻机光源才开始制约芯片制程的提高，到那个时候，人们才开始研究，如何突破现有波长的光源理论制程的极限。
多重曝光技术也就是从那个时候开始的。
小赵老师想明白这件事，心下对101所芯片制程的发展思路一下子放开了。
FinFET场效应晶体管芯片他研究的够深入了，可以直接拿来上800纳米制程，计划三年内进入商用化。
同时在多重曝光技术上加大投入，六年内，300纳米制程商用化。
为此榨干PA2000光刻机最后的性能，386纳米光源的极限也就差不多了，最多到200纳米。
而六年的时间，准备将氟化氪光源、氟化氩光源装到PA2000上，或者装到我们自己的光刻机上。
130纳米，90纳米，65纳米，45纳米，28纳米，14纳米……
一直到x光终结者光源上线。
漫长的二十年芯片发展计划……
次日，101所激光研究室，小赵老师亲自授课。
“相位差恒定，振动方向一致，就会产生干涉，对吧！”
“当锁定不同激光纵模即频率之间的相位差后，是不是就会将大部分能量集中到干涉增强处？”
“你们看，这是普通未锁定相位的光强时域分布，这是锁定后的！”
小赵老师短短几句话，就给卢怡榕团队打开了新思路，她们急忙拿起笔来计算。
数十分钟后，卢怡榕神色激烈的对小赵老师说：“通过干涉这种方法，可以用多个激光发生器发出干涉，将脉冲宽度压缩到皮秒量级，甚至到亚飞秒量级，功率达到10^9W量级，赵所长，你真的神了！”
赵国庆摇摇头，拿下卢怡榕手上的笔，在纸上画了一个草图。
“这是振荡器，这是展宽器，这是放大器，这是压缩器，伱看光线先展宽、然后放大、再压缩成高功率短脉冲的激光……”
“……”
小卢同学已经麻木了。
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1987年10月12日，101所芯能光刻机厂迎来了三名特别的客人。
左洋，顾仁达，丁邦开，三名在德州仪器芯片加工厂工作的湾岛人。
东升船业付了钱，他们三个人只需要在这里呆一个月。
赵国庆亲自接待了他们，还有何振华教授，卢怡榕总师，王丽嘉，刘成敏，吕金超，水泉祥几个芯能光科机厂的骨干。
小赵老师期待值很高，特别是听到左洋说德州仪器，已经攻克八百纳米制造工艺时。
“德州仪器用的是什么型号的光刻机？用的什么光源？”
左洋说：“用的是尼康NSR-120步进式扫描光刻机，光源还是用的高压汞灯的i线，ASML生产PA2000厂里也有两台，德州仪器去年还买了两台GCA公司的激光扫描光刻机，可以很轻松的实现800纳米制程！”
激光这个词让赵国庆很是敏感，他问道：“用的什么激光？”
丁邦开摇摇头说：“我们只是教你们使用PA2000光刻机的，其他的，抱歉！”
好吧，那就是钱没给够，一人加了两万美元，赶上他们好几个月的收入，自然畅所欲言了。
左洋说：“246纳米的紫光激光机，至于是什么样的激光器，就不知道了，反正用这台光刻机，我们掩膜版缝距可以缩小一倍。”
光电雷达总师卢怡榕总师对赵国庆说：“赵所长，他们的激光器应该是用的氟化氪准分子激光器，我们所现在就在研究，只不过目前的技术，发射的激光功率还不够！”
激光产生的条件，需要形成粒子数反转。那么当粒子数反转超过一定值后，就会形成振荡，产生激光。
当激光发射以后，上能级粒子数就消耗掉了，所以振荡就停止了，直到下一次粒子数累积后再反转。这也就是为什么普通激光器峰值功率不能提高的原因。
怎么提高激光的功率，他脑子里的方法可不止一种，调Q技术，锁模技术，光学参量放大技术。
本来想绕过氟化氪紫外激光，还有氟化氩深紫外线准分子激光，直接上x光光源的。
小赵老师发现自己想多了，全世界在光源这一块最强的美利坚，他们也没办法制造一台ASML深紫外光刻机，若是想要商用话，需要多方面的突破，紧紧依靠光源肯定解决不了。
而且x光光源需要的技术难度也不小，开发技术上更成熟的深紫外激光器，还是有必要的。
看来这些技术路线还是要走一遍。
赵国庆对卢怡榕说：“紫外线、深紫外线激光光源下一步将是101所重点项目，还要加入极紫外光项目的研究！”
卢怡榕笑了，能被101所升级到重点项目的，无论资金还是人员将受到极大的倾斜，不过？
卢怡榕问道：“赵所长，极紫外线激光是怎么分类的，我怎么没听说过？”
赵国庆说：“不一定是激光，波长13.5纳米的光源，仅次于x光的光源！”
“……”
小赵老师摇摇头，极紫外线光源技术保密程度极高，能查到的就是用二氧化碳激光机射击一个小小的锡球，辐射出13.5纳米的深紫外线，而且光线还是分散的，需要凹面镜来反射，怎么看都像是老美给出的技术陷阱。
肯定有别的办法……
湾岛人的职务都不高，好在都是一线的。
小赵老师试探来试探去，他们对制程这块确实没太多研究，每天的工作也是公式化的，不过有个好处是，可以带来规范的车间管理。
再问道芯片晶体管结构，小赵老师明悟了。
想了想也难怪，现在i线386纳米光源还没利用到极限，Intel目前量产的386处理器还用的1.5微米的制程，但386纳米光源的极限制程在600到800纳米之间。
主要芯片加工厂在制程上，最需要解决的是合适的半导体结构，多是在晶体管物理层面上探索，使之更加适用于光刻而保证良品率。
比如现在德州仪器所用的深沟槽，基底离子注入衬垫来解决800纳米制程带来的晶体管漏电问题，实际上也就是对本身的PN结构一种改良，并没有涉及到效应晶体管结构的革命，而FinFET鳍片式场效应晶体管才是突破。
而制程一直到65纳米之后，光刻机光源才开始制约芯片制程的提高，到那个时候，人们才开始研究，如何突破现有波长的光源理论制程的极限。
多重曝光技术也就是从那个时候开始的。
小赵老师想明白这件事，心下对101所芯片制程的发展思路一下子放开了。
FinFET场效应晶体管芯片他研究的够深入了，可以直接拿来上800纳米制程，计划三年内进入商用化。
同时在多重曝光技术上加大投入，六年内，300纳米制程商用化。
为此榨干PA2000光刻机最后的性能，386纳米光源的极限也就差不多了，最多到200纳米。
而六年的时间，准备将氟化氪光源、氟化氩光源装到PA2000上，或者装到我们自己的光刻机上。
130纳米，90纳米，65纳米，45纳米，28纳米，14纳米……
一直到x光终结者光源上线。
漫长的二十年芯片发展计划……
次日，101所激光研究室，小赵老师亲自授课。
“相位差恒定，振动方向一致，就会产生干涉，对吧！”
“当锁定不同激光纵模即频率之间的相位差后，是不是就会将大部分能量集中到干涉增强处？”
“你们看，这是普通未锁定相位的光强时域分布，这是锁定后的！”
小赵老师短短几句话，就给卢怡榕团队打开了新思路，她们急忙拿起笔来计算。
数十分钟后，卢怡榕神色激烈的对小赵老师说：“通过干涉这种方法，可以用多个激光发生器发出干涉，将脉冲宽度压缩到皮秒量级，甚至到亚飞秒量级，功率达到10^9W量级，赵所长，你真的神了！”
赵国庆摇摇头，拿下卢怡榕手上的笔，在纸上画了一个草图。
“这是振荡器，这是展宽器，这是放大器，这是压缩器，伱看光线先展宽、然后放大、再压缩成高功率短脉冲的激光……”
“……”
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